TY  - ELEC
AU  - Semek (Simek), K.
AU  - Jerzy, D.
AU  - Mitura-Nowak, M.
AU  - Lomygin, A.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Defect and ion distribution studies in ion-implanted silicon
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
UR  - https://physics.mff.cuni.cz/kfnt/slopos/files/SLOPOS-15-book-of-abstracts.pdf#page=92
ER  -