20220512a2022    k  y0engy50      ba <br/><br/>
 - Title screen 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>электронный ресурс<br/>труды учёных ТПУ<br/>plasma-assisted chemical vapor deposition<br/>polyphenyl methylsiloxane<br/>a-C:H:SiOx coating<br/>hardness<br/>wear resistance<br/>optical emission spectroscopy<br/>покрытия<br/>твердость<br/>износостойкость<br/>оптическая спектроскопия<br/>химическое осаждение