TY  - ELEC
AU  - Dinu, M.
AU  - Wang, K.
AU  - Mouele, E. S. M.
AU  - Parau, A. C.
AU  - Vladesku, A.
AU  - Xinhua Liang
AU  - Braic, V.
AU  - Petrik, L. F.
AU  - Braic, M.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Effects of Film Thickness of ALD-Deposited Al2O3, ZrO2 and HfO2 Nano-Layers on the Corrosion Resistance of Ti(N,O)-Coated Stainless Steel
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - atomic layer deposition
KW  - oxides
KW  - oxynitride
KW  - corrosion resistance
KW  - осаждение
KW  - атомарные примеси
KW  - оксиды
KW  - оксинитриды
KW  - устойчивость
KW  - коррозии
N2  - [References: 69 tit.]
UR  - https://doi.org/10.3390/ma16052007
ER  -