TY  - ELEC
AU  - Sedov, V.
AU  - Popovich, A.
AU  - Linnik, S. A.
AU  - Martyanov, A.
AU  - Wei, J.
AU  - Zenkin, S. P.
AU  - Zavedeev, E.
AU  - Savin, S.
AU  - Gaydaychuk, A. V.
AU  - Li, Ch.
AU  - Ralchenko, V.
AU  - Konov, V.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Combined HF+MW CVD Approach for the Growth of Polycrystalline Diamond Films with Reduced Bow
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - diamond
KW  - thin film
KW  - chemical vapor deposition
KW  - microwave plasma
KW  - thermal conductivity
KW  - Raman spectroscopy
KW  - алмаз
KW  - тонкие пленки
KW  - химическое осаждение
KW  - микроволновая плазма
KW  - теплопроводность
KW  - рамановская спектроскопия
N2  - [References: 56 tit.]
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74890
UR  - https://doi.org/10.3390/coatings13020380
ER  -