TY  - ELEC
AU  - Gaydaychuk, A. V.
AU  - Linnik, S. A.
AU  - Mitulinsky, A. S.
AU  - Zenkin, S. P.
AU  - Bulakh, V. A.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Comparative analysis of working gas composition impact on diamond films microstructure
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
N2  - [References: 36 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1016/j.surfin.2023.102717
ER  -