20230628a2023 k y0engy50 ba - Title screen Subjects--Corporate Names: электронный ресурструды учёных ТПУhigh entropy oxidemagnetron sputteringthermal propertiesmechanical propertiesвысокоэнтропийные оксидымагнетронное напылениетепловые свойствамеханические свойства