Уточните Ваш поиск
Доступность
-
Авторы
-
Рубрики
- coating
- coating deposition
- copper oxide
- CrAlN coating
- duplex treatment
- high-rate deposition
- magnetron sputtering
- metallic mode
- plasma nitriding
- radiofrequency induc...
- radiofrequency induc...
- RF-ICP source
- substrate bias
- thin films
- индуктивно-связанная...
- плазменное азотирова...
- труды учёных ТПУ
- электронный ресурс
- Больше
- Показать меньше