Уточните Ваш поиск
Доступность
-
Авторы
-
Рубрики
- magnetron sputtering
- phase formation
- thermal stability
- TiZrAlN
- TiZrSiN
- transition metal nit...
- аморфные слои
- ионы аргона
- ионы гелия
- магнетронное распыле...
- многослойные пленки
- нитрид алюминия
- нитриды
- отжиг
- пузыри
- радиационные дефекты
- термоструктурные нап...
- труды учёных ТПУ
- фазообразование
- электронный ресурс
- Больше
- Показать меньше