000 00899nam0a2200325 4500
001 141281
005 20231029185121.0
010 _a3540206353
035 _a(RuTPU)RU\TPU\book\153131
090 _a141281
100 _a20080807d2004 k y0engy50 ba
101 0 _aeng
102 _aDE
105 _aa z 001zy
200 1 _aShape Memory Microactuators
_fM. Kohl
210 _aBerlin
_cSpringer-Verlag
_d2004
215 _a247 p.
_cil.
225 1 _aMicrotechnology and MEMS
320 _aReferences: p. 223-242.
320 _aSubject Index: p. 243-247.
610 1 _aприводы
610 1 _aэлектроприводы
610 1 _aмикроприводы
610 1 _aпамять
610 1 _aанглийский язык
675 _a62-83
_v3
700 1 _aKohl
_bM.
_gManfred
801 1 _aRU
_b63413507
_c20080807
_gPSBO
801 2 _aRU
_b63413507
_c20080916
_gPSBO
942 _cBK