| 000 | 01223nam1a2200229 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 165494 | ||
| 005 | 20231029193001.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\book\179521 | ||
| 035 | _aRU\TPU\book\178218 | ||
| 090 | _a165494 | ||
| 100 | _a20090918d2009 m y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 200 | 1 |
_aТехнологические основы микроэлектроники _eучебное пособие _eв 2 ч. _fБ. М. Симонов, А. В. Заводян _gМосковский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ) ; под ред. С. П. Тимошенкова |
|
| 210 |
_aМосква _cМИЭТ _d2008 |
||
| 700 | 1 |
_aСимонов _bБ. М. _gБорис Михайлович |
|
| 701 | 1 |
_aЗаводян _bА. В. _gАлиса Викторовна |
|
| 702 | 1 |
_aТимошенков _bС. П. _4340 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_aМосковский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ) _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\2285 |
| 801 | 1 |
_aRU _b63413507 _c20090903 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20090918 _gRCR |
|
| 942 | _cBK | ||