000 01692nla2a2200373 4500
001 227940
005 20231029205547.0
035 _a(RuTPU)RU\TPU\book\248387
035 _aRU\TPU\book\248383
090 _a227940
100 _a20121212d2012 k y0engy50 ba
101 0 _aeng
102 _aRU
105 _ay z 101zy
135 _adrcn ---uucaa
181 0 _ai
182 0 _ab
200 1 _aObtaining antireflection optical coatings by using dual magnetron sputtering system
_bЭлектронный ресурс
_fY. I. Khodyrevskaya
_gNational Research Tomsk Polytechnic University ; науч. рук. S. E. Romanenko
203 _aТекст
_cэлектронный
215 _a1 файл (397 Кб)
225 1 _aSection VIII: Modern Physical Methods in Science, Engineering and Medicine
230 _aЭлектронные текстовые данные (1 файл : 397 Кб)
300 _aЗаглавие с титульного листа
320 _a[Библиогр.: с. 174 (6 назв.)]
337 _aAdobe Reader
463 1 _0(RuTPU)RU\TPU\book\247697
_t Modern technique and technologies MTT' 2012
_o Proceedings of the 18th international scientific and practical conference of students, post-graduates and young scientists
_fTomsk Polytechnic University (TPU)
_v[С. 173-174]
_d2012
610 1 _aтруды учёных ТПУ
610 1 _aэлектронный ресурс
700 1 _aKhodyrevskaya
_bY. I.
702 1 _aRomanenko
_bS. E.
_4727
712 0 2 _aNational Research Tomsk Polytechnic University
801 2 _aRU
_b63413507
_c20130219
_gRCR
856 4 _uhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2012/C2/ENG/eng_080.pdf
942 _cCF