| 000 | 04559nla2a2200493 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 233498 | ||
| 005 | 20231029210331.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\book\254576 | ||
| 035 | _aRU\TPU\book\254575 | ||
| 090 | _a233498 | ||
| 100 | _a20130305d2012 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 135 | _adrnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | _ai | |
| 182 | 0 | _ab | |
| 200 | 1 |
_aРазработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током _bЭлектронный ресурс _fА. Г. Горюнов [и др.] |
|
| 203 |
_aТекст _cэлектронный |
||
| 215 | _a1 файл (459 Кб) | ||
| 225 | 1 | _aУправление, вычислительная техника и информатика | |
| 230 | _aЭлектронные текстовые данные (1 файл : 459 Кб) | ||
| 300 | _aЗаглавие с титульного листа | ||
| 300 | _aЭлектронная версия печатной публикации | ||
| 320 | _a[Библиогр.: с. 233 (8 назв.)] | ||
| 330 | _aРассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника. | ||
| 337 | _aAdobe Reader | ||
| 461 | 1 |
_0(RuTPU)RU\TPU\book\176237 _tИзвестия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] _fТомский политехнический университет (ТПУ) _d2000- |
|
| 463 | 1 |
_0(RuTPU)RU\TPU\book\254124 _x1684-8519 _tТ. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика _v[С. 228-233] _d2012 _p261 с. |
|
| 610 | 1 | _aSiemens-реакторы | |
| 610 | 1 | _aполикристаллический кремний | |
| 610 | 1 | _aматематическое моделирование | |
| 610 | 1 | _aисточники | |
| 610 | 1 | _aпеременный ток | |
| 610 | 1 | _aсистемы автоматического управления | |
| 610 | 1 | _aтруды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | _aэлектронный ресурс | |
| 701 | 1 |
_aГорюнов _bА. Г. _cспециалист в области автоматического управления _cдоцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук _f1979- _gАлексей Германович _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\25726 |
|
| 701 | 1 |
_aКурочкин _bВ. А. _cспециалист в области автоматического управления _cинженер Томского политехнического университета, аспирант _f1988- _gВладимир Александрович _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\30347 |
|
| 701 | 1 |
_aЧучалин _bИ. П. _cфизик _cректор Томского института автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР) с 1972 по 1981 гг. _cректор Томского политехнического института (ТПИ) с 1981 по 1990 гг. _cвыпускник ФТФ ТПИ 1951 г. _f1925- _gИван Петрович _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\11823 |
|
| 701 | 1 |
_aМоскалев _bВ. А. _cроссийский ученый _cэлектротехник _cпрофессор Томского политехнического университета _f1927- _gВладилен Александрович _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\12401 |
|
| 801 | 1 |
_aRU _b63413507 _c20090623 _gPSBO |
|
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20220209 _gPSBO |
|
| 856 | 4 | _uhttp://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/4546/1/bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf | |
| 942 | _cCF | ||