| 000 | 01224nam0a2200409 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 284606 | ||
| 005 | 20231029221026.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\book\308785 | ||
| 090 | _a284606 | ||
| 100 | _a20150217d1982 km y0engy50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aDE | ||
| 105 | _aa z 001zy | ||
| 200 | 1 |
_aPlasma science and technology _fH. V. Boenig |
|
| 210 |
_aMunchen _cCarl Hanser Verlag _d1982 |
||
| 215 |
_a300 p. _cil. |
||
| 320 | _aIndex: p. 297-299 | ||
| 320 | _abibliography at the end of chapters | ||
| 606 | 1 |
_aПлазма _xФизика _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\subj\48885 |
|
| 610 | 1 | _aкомпоненты | |
| 610 | 1 | _aвиды | |
| 610 | 1 | _aфизические процессы | |
| 610 | 1 | _aреакции | |
| 610 | 1 | _aсинтез | |
| 610 | 1 | _aплазменная полимеризация | |
| 610 | 1 | _aпленки | |
| 610 | 1 | _aосаждение | |
| 610 | 1 | _aструктура | |
| 610 | 1 | _aсвойства | |
| 610 | 1 | _aтехнологии | |
| 610 | 1 | _aприменение | |
| 610 | 1 | _aанглийский язык | |
| 675 |
_a533.9 _v4 |
||
| 700 | 1 |
_aBoenig _bH. V. _gHerman V. |
|
| 801 | 1 |
_aRU _b63413507 _c20150217 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20171023 _gRCR |
|
| 942 | _cBK | ||