| 000 | 01567nam0a2200445 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 299232 | ||
| 005 | 20231029223134.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\book\324384 | ||
| 035 | _aRU\TPU\book\324377 | ||
| 090 | _a299232 | ||
| 100 | _a20150626d1981 km y0engy50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aUS | ||
| 105 | _aa z 001zy | ||
| 200 | 1 |
_aSputtering by particle. Bombardment I. _ePhysical Sputtering of Single-Element Solids _fedited by R. Behrisch |
|
| 210 |
_aNew York _cSpringer-Verlag _d1981 |
||
| 215 |
_a281 p. _cil. |
||
| 225 | 1 |
_aTopics in applied physics _vVol. 47 |
|
| 320 | _aAuthor Index: p. 265-274 | ||
| 320 | _aSubject Index: p. 275-281 | ||
| 606 | 1 |
_aТвердые тела _xПоверхностные явления _x(физика твердого тела) _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\subj\58668 |
|
| 610 | 1 | _aраспыление | |
| 610 | 1 | _aприкладная физика | |
| 610 | 1 | _aчастицы | |
| 610 | 1 | _aбомбардировка | |
| 610 | 1 | _aионы | |
| 610 | 1 | _aмонокристаллы | |
| 610 | 1 | _aкоэффициенты | |
| 610 | 1 | _aизмерение | |
| 610 | 1 | _aмонокристаллические твердые тела | |
| 610 | 1 | _aполикристаллические тела | |
| 610 | 1 | _aисследования | |
| 610 | 1 | _aэксперименты | |
| 610 | 1 | _aприменение | |
| 610 | 1 | _aанглийский язык | |
| 675 |
_a539.211 _v4 |
||
| 702 | 1 |
_aBehrisch _bR. _4340 |
|
| 801 | 1 |
_aRU _b63413507 _c20150626 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20190923 _gRCR |
|
| 942 | _cBK | ||