| 000 | 01493nlm0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 317717 | ||
| 005 | 20231029225757.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\book\343185 | ||
| 035 | _aRU\TPU\book\341710 | ||
| 090 | _a317717 | ||
| 100 | _a20160412d2014 k y0engy50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aGB | ||
| 105 | _aa z 001zy | ||
| 135 | _adrcn ---uucaa | ||
| 200 | 1 |
_aSmart sensors and MEMS _bElectronic resource _eIntelligent devices and microsystems for industrial applications _feds. S. Nihtianov, A. Luque |
|
| 203 |
_aText _celectronic |
||
| 210 |
_aOxford _cWoodhead Publishing Limited _d2014 |
||
| 230 | _a1 компьютерный файл (pdf; 52 Mb) | ||
| 300 | _aЗаглавие с титульного экрана | ||
| 333 | _aРежим доступа: из корпоративной сети ТПУ | ||
| 337 | _aAdobe Reader | ||
| 606 | 1 |
_aДатчики _xВ системах регулирования _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\subj\4835 |
|
| 610 | 1 | _aэлектронный ресурс | |
| 610 | 1 | _aинтеллектуальные датчики | |
| 610 | 1 | _aМЭМС-устройства | |
| 610 | 1 | _aмикросистемы | |
| 610 | 1 | _aдатчики | |
| 675 |
_a681.586 _v3 |
||
| 702 | 1 |
_aNihtianov _bS. _gStoyan _4340 |
|
| 702 | 1 |
_aLuque _bA. _gAntonio _4340 |
|
| 801 | 1 |
_aRU _b63413507 _c20131216 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20160621 _gRCR |
|
| 856 | 4 | _uhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Smart%20Sensors%20and%20Mems_2014.pdf | |
| 942 | _cCF | ||