000 01269naa2a2200289 4500
001 562808
005 20231030031304.0
035 _a(RuTPU)RU\TPU\prd\258231
035 _aRU\TPU\prd\258177
090 _a562808
100 _a20160523a2007 k y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
200 1 _aVacuum ion-plasma setup «quadro» for complex treating of materials and tools
_fI. V. Lopatin [et al.]
461 0 _0(RuTPU)RU\TPU\prd\191
_tИзвестия вузов. Физика
_fМинистерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
_d1958-
463 0 _0(RuTPU)RU\TPU\prd\77772
_tТ. 50, № 9
_vС. 98
_d2007
610 1 _aтруды учёных ТПУ
701 1 _aLopatin
_bI. V.
701 1 _aAkhmadeev
_bYu. Kh.
701 1 _aDenisov
_bV. V.
701 1 _aMikov
_bA. V.
701 1 _aYakovlev
_bV. V.
701 1 _aKoval
_bN. N.
_cspecialist in the field of electronics
_cProfessor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of technical sciences
_f1948-
_gNikolay Nikolaevich
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\34748
701 1 _aSeredinin
_bA.
801 1 _aRU
_b63413507
_c20121127
801 2 _aRU
_b63413507
_c20160523
_gRCR
942 _cBK