000			02760naa2a2200421 4500
001			612758
005			20231030034659.0
035			_a(RuTPU)RU\TPU\conf\10889
035			_aRU\TPU\conf\10888
090			_a612758
100			_a20150626d2015 k y0rusy50 ba
101	0		_aeng
102			_aRU
105			_ay z 101zy
135			_adrgn ---uucaa
181		0	_ai
182		0	_ab
200	1		_aMagnetron sputtering system _fA. V. Lazarev, M. A. Andreeva, U. A. Smirnova
203			_aТекст _cэлектронный
225	1		_aРадиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине
230			_a1 компьютерный файл (pdf; 685 Кb)
300			_aЗаглавие с титульного экрана
320			_a[Библиогр.: с. 210 (2 назв.)]
337			_aAdobe Reader
463		0	_0(RuTPU)RU\TPU\conf\10637 _tФизико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине _oсборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. _fНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Дьяченко [и др.] _v[С. 209-210] _d2015
610	1		_aтруды учёных ТПУ
610	1		_aэлектронный ресурс
610	1		_aмагнетронное распыление
610	1		_aтонкопленочные покрытия
700		1	_aLazarev _bA. V.
701		1	_aAndreeva _bM. A.
701		1	_aSmirnova _bU. A. _clinguist _cSenior Lecturer of Tomsk Polytechnic University _f1975- _gUliana Aleksandrovna _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\32621
712	0	2	_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) _bФизико-технический институт (ФТИ) _bКафедра прикладной физики (№ 12) (ПФ) _h46 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\18729
712	0	2	_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) _bФизико-технический институт (ФТИ) _bКафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ) _h6715 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\18736
801		2	_aRU _b63413507 _c20210210 _gRCR
856	4		_uhttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438
856	4		_uhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/178.pdf
942			_cBK