000 02645naa2a2200469 4500
001 621403
005 20231030035302.0
035 _a(RuTPU)RU\TPU\conf\19984
035 _aRU\TPU\conf\19977
090 _a621403
100 _a20161219d2016 k y0engy50 ba
101 0 _aeng
102 _aRU
105 _ay z 101zy
135 _adrgn ---uucaa
181 0 _ai
182 0 _ab
200 1 _aThe phase and elemental co mposition of fil tered arc evaporated TiAlN coatings using separate cathodes
_fA. N. Sutygina [et al.]
203 _aТекст
_cэлектронный
230 _a1 computer file (pdf; 225 Kb)
300 _aTitle screen
463 0 _0(RuTPU)RU\TPU\conf\19513
_tEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
_oInternational Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia
_oabstracts
_fNational Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]
_v[P. 332]
_d2016
610 1 _aтруды учёных ТПУ
610 1 _aэлектронный ресурс
610 1 _aэлементный состав
610 1 _aпокрытия
610 1 _aкатоды
610 1 _aдуги
610 1 _aвакуумно-дуговое осаждение
610 1 _aфазовый состав
610 1 _aelemental distribution
610 1 _avacuum arc deposition
610 1 _aphase composition
701 1 _aSutygina
_bA. N.
_cPhysicist
_cTechnician of Tomsk Polytechnic University
_f1993-
_gAlina Nikolaevna
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\37677
701 1 _aKashkarov
_bE. B.
_cPhysicist
_cEngineer of Tomsk Polytechnic University
_f1991-
_gEgor Borisovich
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\34949
701 1 _aShulepov
_bI. A.
_cphysicist
_cEngineer-designer of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences
_f1954-
_gIvan Anisimovich
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\33092
701 1 _aNikitenkov
_bN. N.
_cRussian physicist
_cProfessor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of Physical and Mathematical Sciences
_f1953-
_gNikolai Nikolaevich
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\30409
701 1 _aPryamushko
_bT. S.
_cphysicist
_claboratory assistant of Tomsk Polytechnic University
_f1993-
_gTatiana Sergeevna
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\34760
712 0 2 _aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
_bФизико-технический институт (ФТИ)
_bКафедра общей физики (ОФ)
_h136
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\col\18734
801 2 _aRU
_b63413507
_c20170518
_gRCR
856 4 _uhttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/35861
942 _cBK