| 000 | 02716naa2a2200445 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 630890 | ||
| 005 | 20231030035824.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\conf\32453 | ||
| 035 | _aRU\TPU\conf\32449 | ||
| 090 | _a630890 | ||
| 100 | _a20200131d2019 k y0rusy50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z 101zy | ||
| 135 | _adrgn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | _ai | |
| 182 | 0 | _ab | |
| 200 | 1 |
_aFeatures of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target _fG. A. Bleykher [et al.] |
|
| 203 |
_aТекст _cэлектронный |
||
| 230 | _a1 компьютерный файл (pdf; 342 Kb) | ||
| 300 | _aЗаглавие с титульного экрана | ||
| 463 | 1 |
_0(RuTPU)RU\TPU\conf\32407 _tGas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) _o14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia _oabstracts _fNational Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval _v[С. 277] _d2019 |
|
| 610 | 1 | _aэлектронный ресурс | |
| 610 | 1 | _aтруды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | _aмагнетронное распыление | |
| 610 | 1 | _aметаллические мишени | |
| 610 | 1 | _aмагнетроны | |
| 610 | 1 | _aосаждение | |
| 610 | 1 | _aпокрытия | |
| 610 | 1 | _aсамораспыление | |
| 610 | 1 | _aмагнетронные распылительные системы | |
| 701 | 1 |
_aBleykher _bG. A. _cphysicist _cProfessor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of Physical and Mathematical Sciences _f1961- _gGalina Alekseevna _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\31496 |
|
| 701 | 1 |
_aYuryeva _bA. V. _cspecialist in the field of hydrogen energy and plasma technologies _cassistant Professor of Tomsk Polytechnic University _f1983- _gAlena Victorovna _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\33389 |
|
| 701 | 1 |
_aShabunin _bA. S. _cPhysicist _cEngineer of Tomsk Polytechnic University _f1987- _gArtem Sergeevich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\37139 |
|
| 701 | 1 |
_aSidelev _bD. V. _cphysicist _cengineer of Tomsk Polytechnic University _f1991- _gDmitry Vladimirovich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\34524 |
|
| 701 | 1 |
_aGrudinin _bV. A. _cphysicist _cengineer of Tomsk Polytechnic University _f1995- _gVladislav Alekseevich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\42519 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет _bИнженерная школа ядерных технологий _bНаучно-образовательный центр Б. П. Вейнберга _h7866 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\23561 |
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20200203 _gRCR |
|
| 856 | 4 | _uhttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759 | |
| 942 | _cBK | ||