| 000 | 04402nla2a2200469 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 640695 | ||
| 005 | 20231030040403.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\network\5267 | ||
| 035 | _aRU\TPU\network\5264 | ||
| 090 | _a640695 | ||
| 100 | _a20150423a2014 k y0engy50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 105 | _ay z 100zy | ||
| 135 | _adrcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | _ai | |
| 182 | 0 | _ab | |
| 200 | 1 |
_aUnfiltered Aluminium Vacuum Arc Plasma Application for High-Frequency Short-Pulse Plasma Immersion Ion Implantation _fA. I. Ryabchikov [et al.] |
|
| 203 |
_aText _celectronic |
||
| 225 | 1 | _aDiagnostics and Engineering of Novel Materials | |
| 300 | _aTitle screen | ||
| 330 | _aThis paper is devoted to the studying of the dynamical changes in the density of aluminium microparticles (MPs) on the substrate surface made of stainless steel, immersed in vacuum arc plasma, at high-frequency short-pulse negative bias potential. It is shown experimentally that the density of aluminium MPs on the substrate surface is decreased dynamically by 3 orders when the treatment time is increased from 15 s to 3 min at the bias potential –2 kV. A possibility of the application of MPs unfiltered vacuum arc plasma for high-frequency short-pulse plasma immersion ion implantation to form the intermetallic layers is discussed. | ||
| 333 | _aРежим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | 0 |
_0(RuTPU)RU\TPU\network\4598 _tAdvanced Materials Research : Advanced materials, synthesis, development and application _oScientific Journal |
|
| 463 | 0 |
_0(RuTPU)RU\TPU\network\4601 _tVol. 880 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2013) _oThe Xth International Conference, April 23-26, 2013, Tomsk, Russia _o[proceedings] _v[P. 155-160] _d2014 |
|
| 610 | 1 | _aэлектронный ресурс | |
| 610 | 1 | _aтруды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | _aмикрочастицы | |
| 610 | 1 | _aплазма | |
| 610 | 1 | _aкороткие импульсы | |
| 610 | 1 | _aионная имплантация | |
| 701 | 1 |
_aRyabchikov _bA. I. _cProfessor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences _cphysicist _f1950- _gAleksandr Ilyich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\30912 |
|
| 701 | 1 |
_aSivin _bD. O. _cphysicist _cSenior researcher of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences _f1978- _gDenis Olegovich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\34240 |
|
| 701 | 1 |
_aBumagina _bA. I. _cphysicist _cJunior researcher of Tomsk Polytechnic University _f1987- _gAnna Ivanovna _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\34326 |
|
| 701 | 1 |
_aBolbasov _bE. N. _cphysicist _cEngineer of Tomsk Polytechnic University _f1981- _gEvgeny Nikolaevich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\30857 |
|
| 701 | 1 |
_aDaneykina (Daneikina) _bN. V. _clinguist _cSenior Lecturer of Tomsk Polytechnic University _f1977- _gNatalia Viktorovna _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\32624 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) _bФизико-технический институт (ФТИ) _bЛаборатория № 22 _h6469 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\19225 |
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) _bФизико-технический институт (ФТИ) _bЦентр измерений свойств материалов (ЦИСМ) _h6684 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\19361 |
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) _bФизико-технический институт (ФТИ) _bКафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) _h138 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\18726 |
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) _bФизико-технический институт (ФТИ) _bКафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ) _h6715 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\18736 |
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20161228 _gRCR |
|
| 856 | 4 | _uhttp://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.880.155 | |
| 942 | _cCF | ||