| 000 | 02091nlm1a2200409 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 652991 | ||
| 005 | 20231030041203.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\network\18362 | ||
| 035 | _aRU\TPU\network\18358 | ||
| 090 | _a652991 | ||
| 100 | _a20170202a2016 k y0engy50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 135 | _adrcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | _ai | |
| 182 | 0 | _ab | |
| 200 | 1 |
_aEffect of energy on the formation of flexible hard Al-Si-N films prepared by magnetron sputtering _fY. Musil [et al.] |
|
| 203 |
_aText _celectronic |
||
| 300 | _aTitle screen | ||
| 320 | _a[References: p. 44-45 (16 tit.)] | ||
| 333 | _aРежим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 |
_tVacuum _d1951- |
||
| 463 |
_tVol. 133 _v[P. 43–45] _d2016 |
||
| 610 | 1 | _aэлектронный ресурс | |
| 610 | 1 | _aтруды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | _aмагнетронное распыление | |
| 610 | 1 | _aзащитные покрытия | |
| 610 | 1 | _aAl-Si-N | |
| 701 | 1 |
_aMusil _bY. _cphysicist _cLeading researcher of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences _f1934- _gYindrikh _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\36957 |
|
| 701 | 1 |
_aJavdosnak _bD. |
|
| 701 | 1 |
_aCerstvy _bR. _gRadomir |
|
| 701 | 1 |
_aHaviar _bS. |
|
| 701 | 1 |
_aRemnev _bG. E. _cphysicist _cProfessor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of technical sciences _f1948- _gGennady Efimovich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\31500 |
|
| 701 | 1 |
_aUglov _bV. V. _cPhysicist _cLeading researcher of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences _f1954- _gVladimir Vasilievich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\36737 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) _bИнститут физики высоких технологий (ИФВТ) _bЛаборатория № 1 _h6378 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\19035 |
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20170206 _gRCR |
|
| 856 | 4 | _uhttp://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.08.014 | |
| 942 | _cCF | ||