000 02809nlm1a2200421 4500
001 654140
005 20231030041247.0
035 _a(RuTPU)RU\TPU\network\19667
090 _a654140
100 _a20170413a2017 k y0engy50 ba
101 0 _aeng
102 _aUS
135 _adrcn ---uucaa
181 0 _ai
182 0 _ab
200 1 _aProperties of thin films of tungsten sulfide and copper sulfide produced by magnetron sputtering method
_fV. V. An, V. M. Pogrebenkov, A. N. Zakharov
203 _aText
_celectronic
300 _aTitle screen
320 _a[References: 9 tit.]
330 _aThis article describes investigations into the properties of thin films of tungsten sulfide and copper sulfide produced by magnetron sputtering on glass substrates in argon atmosphere. Transmittance spectra of the obtained films are studied by spectrophotometry in the range from 300 to 900 nm; the band gaps are determined. The thickness of the obtained films varies in the range of 0.5-1 μm.
333 _aРежим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
461 _tInorganic Materials: Applied Research
_d2010-
463 _tVol. 8, iss. 1
_v[P. 166-171]
_d2017
610 1 _aэлектронный ресурс
610 1 _aтруды учёных ТПУ
610 1 _aтонкопленочные изделия
610 1 _aнаноструктуризация
610 1 _aмишени
610 1 _aвольфрам
610 1 _aсульфид меди
700 1 _aAn
_bV. V.
_cchemist
_cResearcher of Tomsk Polytechnic University, candidate of technical sciences
_f1972-
_gVladimir Vilorievich
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\33866
701 1 _aPogrebenkov
_bV. M.
_cChemical Engineer
_cProfessor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of technical sciences
_f1954-
_gValery Matveevich
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\31924
701 1 _aZakharov
_bA. N.
_gAleksandr Nikolaevich
712 0 2 _aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
_bИнститут физики высоких технологий (ИФВТ)
_bКафедра общей химии и химической технологии (ОХХТ)
_h7617
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\col\21253
712 0 2 _aНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
_bИнститут физики высоких технологий (ИФВТ)
_bКафедра технологии силикатов и наноматериалов (ТСН)
_h93
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\col\18694
801 2 _aRU
_b63413507
_c20170413
_gRCR
856 4 _uhttp://dx.doi.org/10.1134/S207511331701004X
942 _cCF