000 01507nlm1a2200349 4500
001 655592
005 20231030041352.0
035 _a(RuTPU)RU\TPU\network\21834
035 _aRU\TPU\network\19443
090 _a655592
100 _a20170918a2004 k y0engy50 ba
101 0 _aeng
102 _aUS
135 _adrcn ---uucaa
181 0 _ai
182 0 _ab
200 1 _aSynthesis of nanosized silicon dioxide in a chain plasma-chemical process
_fG. E. Remnev, A. I. Pushkarev
203 _aText
_celectronic
300 _aTitle screen
320 _a[References: 10 tit.]
333 _aРежим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
461 _tHigh Energy Chemistry
_d2000-
463 _tVol. 38, iss. 5
_v[P. 348-349]
_d2004
610 1 _aэлектронный ресурс
610 1 _aтруды учёных ТПУ
610 1 _aдиоксид кремния
610 1 _aплазмохимические процессы
700 1 _aRemnev
_bG. E.
_cphysicist
_cProfessor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of technical sciences
_f1948-
_gGennady Efimovich
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\31500
701 1 _aPushkarev
_bA. I.
_cphysicist
_cProfessor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences, Senior researcher
_f1954-
_gAleksandr Ivanovich
_2stltpush
_3(RuTPU)RU\TPU\pers\32701
801 2 _aRU
_b63413507
_c20171219
_gRCR
856 4 _uhttps://elibrary.ru/item.asp?id=13447512
942 _cCF