| 000 | 03685nla2a2200517 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 660894 | ||
| 005 | 20231030041726.0 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\network\31015 | ||
| 035 | _aRU\TPU\network\31013 | ||
| 090 | _a660894 | ||
| 100 | _a20191106a2019 k y0engy50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z 100zy | ||
| 135 | _adrgn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | _ai | |
| 182 | 0 | _ab | |
| 200 | 1 |
_aEffect of 28 MeV He{2+} Ion Beam and Short-Pulsed 200 keV C{+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Multilayer Al-Si-N Coatings _fS. K. Pavlov [et al.] |
|
| 203 |
_aText _celectronic |
||
| 225 | 1 | _aDefect Engineering, Nano-Science and Technology. Poster Session | |
| 300 | _aЗаглавие с экрана | ||
| 463 | 0 |
_0(RuTPU)RU\TPU\network\30793 _tSurface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019) _o21st International Conference, 25-30 August 2019, Tomsk, Russia _oabstract book _fNational Research Tomsk Polytechnic University (TPU) _v[P. 151] _d2019 |
|
| 610 | 1 | _aэлектронный ресурс | |
| 610 | 1 | _aтруды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | _aion beam | |
| 610 | 1 | _aAl-Si-N coatings | |
| 610 | 1 | _aradiation defects | |
| 610 | 1 | _aabsorption | |
| 610 | 1 | _aионные пучки | |
| 610 | 1 | _aрадиационные дефекты | |
| 610 | 1 | _aпоглощение | |
| 610 | 1 | _aмногослойные покрытия | |
| 610 | 1 | _aтонкие слои | |
| 610 | 1 | _aоптические свойства | |
| 701 | 1 |
_aPavlov _bS. K. _cphysicist _cEngineer of Tomsk Polytechnic University _f1990- _gSergey Konstantinovich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\32875 |
|
| 701 | 1 |
_aKonusov _bF. V. _cphysicist _cSenior Researcher of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences _f1958- _gFedor Valerievich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\32570 |
|
| 701 | 1 |
_aLauk _bA. L. _cPhysicist _cLeading engineer of Tomsk Polytechnic University _f1957- _gAleksandr Lukyanovich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\37675 |
|
| 701 | 1 |
_aSokhoreva _bV. V. _cphysicist _cSenior researcher of Tomsk Polytechnic University _f1944- _gValentina Viktorovna _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\31213 |
|
| 701 | 1 |
_aGadirov _bR. _gRuslan |
|
| 701 | 1 |
_aTarbokov _bV. A. _cspecialist in the field of material science _cLeading engineer of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences _f1969- _gVladislav Aleksandrovich _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\pers\41878 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет _bИсследовательская школа физики высокоэнергетических процессов _c(2017- ) _h8118 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет _bИнженерная школа ядерных технологий _bНаучная лаборатория радиоактивных веществ и технологий _h7884 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\25818 |
| 712 | 0 | 2 |
_aНациональный исследовательский Томский политехнический университет _bИнженерная школа новых производственных технологий _bНаучно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий" _h7882 _2stltpush _3(RuTPU)RU\TPU\col\23502 |
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20191106 _gRCR |
|
| 856 | 4 | _uhttps://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=152 | |
| 942 | _cCF | ||