| 000 | 00943nam0a2200325 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 88447 | ||
| 005 | 20231029173116.0 | ||
| 010 | _a0471005770 | ||
| 035 | _a(RuTPU)RU\TPU\book\94931 | ||
| 090 | _a88447 | ||
| 100 | _a20051226d1994 km y0engy50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aUS | ||
| 105 | _ay z 001zy | ||
| 200 | 1 |
_aPrinciples of Plasma Discharges and Materials Processing _fM. A. Lieberman, A. J. Lichtenberg |
|
| 210 |
_aNew York _cA Wiley-Interscience Publication _d1994 |
||
| 215 | _a572 p. | ||
| 320 | _aIndex: p. 565-572 | ||
| 610 | 1 | _aфизика | |
| 610 | 1 | _aплазма | |
| 610 | 1 | _aразряды | |
| 610 | 1 | _aматериалы | |
| 610 | 1 | _aпроцессы | |
| 610 | 1 | _aанглийский язык | |
| 675 |
_a533.9 _v3 |
||
| 700 | 1 |
_aLieberman _bM. A. _gMichael A. |
|
| 701 | 1 |
_aLichtenberg _bA. J. _gAllan J. |
|
| 801 | 1 |
_aRU _b63413507 _c20051226 _gPSBO |
|
| 801 | 2 |
_aRU _b63413507 _c20100914 _gPSBO |
|
| 942 | _cBK | ||