APA

Козин К. А., Горюнов А. Г., Ливенцов С. Н., Гаврилов П. М. & Ревенко Ю. А.Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния. : .

Chicago

Козин К А, Горюнов А Г, Ливенцов С Н, Гаврилов П М and Ревенко Ю А.Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния. : .

Harvard

Козин К. А., Горюнов А. Г., Ливенцов С. Н., Гаврилов П. М. and Ревенко Ю. А.Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния. : .

MLA

Козин К А, Горюнов А Г, Ливенцов С Н, Гаврилов П М and Ревенко Ю А.: . .