Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния [Электронный ресурс] / К. А. Козин [и др.]

Уровень набора: (RuTPU)RU\TPU\book\176237, Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] / Томский политехнический университет (ТПУ) = 2000-Альтернативный автор-лицо: Козин, К. А., специалист в области электроники и автоматики физических установок, аспирант, ассистент кафедры электроники и автоматики физических установок Томского политехнического университета, 1980-, Кирилл Андреевич;Горюнов, А. Г., специалист в области автоматического управления, доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук, 1979-, Алексей Германович;Ливенцов, С. Н., специалист в области автоматизации, профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук, 1955-, Сергей Николаевич;Гаврилов, П. М., специалист в области атомной энергетики, профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук, 1960-, Петр Михайлович;Ревенко, Ю. А.Язык: русский.Страна: Россия.Описание: 1 файл (779 Кб)Серия: Управление, вычислительная техника и информатикаРезюме или реферат: Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор..Примечания о наличии в документе библиографии/указателя: [Библиогр.: с. 74 (10 назв.)].Тематика: поликристаллический кремний | Siemens-реактор | CVD-метод | алгоритмы управления | системы автоматизированного управления | труды учёных ТПУ | электронный ресурс Ресурсы он-лайн:Щелкните здесь для доступа в онлайн
Тэги из этой библиотеки: Нет тэгов из этой библиотеки для этого заглавия. Авторизуйтесь, чтобы добавить теги.
Оценка
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Нет реальных экземпляров для этой записи

Заглавие с титульного листа

Электронная версия печатной публикации

[Библиогр.: с. 74 (10 назв.)]

Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор.

Adobe Reader

Для данного заглавия нет комментариев.

оставить комментарий.