Условие получения однородных наноразмерных резистивных плёнок Ni-Ti методом магнетронного распыления из двух источников

20140912d2014 k y0rusy50 ca

- Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации


электронный ресурс
наноразмерные пленки
резистивные пленки
никель
титан
магнетронное распыление
воспроизводимость
датчики
электронные приборы
nanoscale film
resistive film
Ni-Ti
magnetron sputtering
reproducibility
sensors
electronic devices