Features of silicon-containing coatings deposition from ablation plasma formed by a powerful ion beam
20150224a2014 k y0engy50 ba
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
кремнийсодержащие покрытия
осаждение
абляция
плазма
ионные пучки
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
кремнийсодержащие покрытия
осаждение
абляция
плазма
ионные пучки