APA

Блейхер Г. А., Кривобоков В. П. & Юрьева А. В.Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий. : .

Chicago

Блейхер Г А, Кривобоков В П and Юрьева А В.Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий. : .

Harvard

Блейхер Г. А., Кривобоков В. П. and Юрьева А. В.Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий. : .

MLA

Блейхер Г А, Кривобоков В П and Юрьева А В.: . .