Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий (Запись № 646198)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 05312nlm1a2200529 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030040718.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\11332 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\10100 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20160215a2014 k y0rusy50 ca |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | русский |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | Россия |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий |
| Параллельное заглавие | The analysis of magnetron sputtering systems possibilities for high-rate deposition of functional coatings |
| Первые сведения об ответственности | Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | Текст |
| Средство доступа | электронный |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Заглавие с экрана |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [Библиогр.: с. 108 (5 назв.)] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Разработана математическая модель тепловых процессов в мишени и эмиссии атомов с ее поверхности при работе импульсных магнетронных распылительных систем (МРС). С ее помощью выявлены параметры магнетронов (мощность, длительность импульсов), которые способны обеспечить возникновение испарения. Показана его роль в усилении эмиссии атомов с поверхности мишени. Благодаря испарению количество вещества, удаляемого с поверхности мишени за один импульс тока, увеличивается более чем в 10 раз. Рассмотрена возможность существенного усиления эмиссии атомов с поверхности теплоизолированной мишени МРС, работающей с импульсно-периодическим источником питания. |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | The mathematical model, which describes the thermal processes in a target and atomic emission from its surface when using pulsed magnetron sputtering systems, is developed The magnetron parameters (power, pulse duration) which are able to provide occurrence of evaporation are revealed. Its role in intensification of atomic emission is shown. Due to evaporation the amount of substance removed from the target surface at a current pulse is increased by more than 10 times. The possibility of substantial intensification of atomic emission from the surface of heat insulated target of the magnetron sputtering systems with repetitively pulsed power sources is considered. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Известия вузов. Физика |
| Сведения, относящиеся к заглавию | научный журнал |
| Первые сведения об ответственности | Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |
| Дата публикации | 1957- |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Т. 57, № 10/3 |
| Обозначение тома | [С. 104-108] |
| Дата публикации | 2014 |
| 510 1# - Параллельное заглавие | |
| Параллельное заглавие | The analysis of magnetron sputtering systems possibilities for high-rate deposition of functional coatings |
| Язык заглавия | английский |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | магнетроны |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | распылительные системы |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | эмиссия |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | атомы |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | распыление |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | покрытия |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | осаждение |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | magnetron sputtering system |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | atomic emission |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | evaporation |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | sputtering |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | high-rate coating deposition |
| 700 #1 - Имя лица – первичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Блейхер |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | Г. А. |
| Дополнения к именам, кроме дат | физик |
| -- | профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |
| Даты | 1961- |
| Расширение инициалов личного имени | Галина Алексеевна |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\28948 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Кривобоков |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | В. П. |
| Дополнения к именам, кроме дат | физик |
| -- | профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |
| Даты | 1948- |
| Расширение инициалов личного имени | Валерий Павлович |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Юрьева |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | А. В. |
| Дополнения к именам, кроме дат | специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий |
| -- | ассистент Томского политехнического университета |
| Даты | 1983- |
| Расширение инициалов личного имени | Алена Викторовна |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\30232 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |
| Структурное подразделение | Физико-технический институт (ФТИ) |
| -- | Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ) |
| -- | 2048 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\18735 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20160215 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://elibrary.ru/item.asp?id=22980209 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 646198 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.