The Mathematical Modeling of the Initial Stage of Ion Implantation into the Target with Coating
20170905a2017 k y0engy50 ba
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
покрытия
упругие волны
деформации
диффузии
математические модели
ионная имплантация
мишени
coating
deformation
diffusion
elastic wave
mathematical model
stress
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
покрытия
упругие волны
деформации
диффузии
математические модели
ионная имплантация
мишени
coating
deformation
diffusion
elastic wave
mathematical model
stress