Plasma Chemical Synthesis of Amorphous Hydrocarbon Films Alloyed by Silicon, Oxygen and Nitrogen
20210121a2019 k y0engy50 ba
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
plasma chemical synthesis
alloyed amorphous doping
Fourier-transform infrared spectroscopy
Raman spectroscopy
плазмохимический синтез
легирование
ИК-спектроскопия
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
plasma chemical synthesis
alloyed amorphous doping
Fourier-transform infrared spectroscopy
Raman spectroscopy
плазмохимический синтез
легирование
ИК-спектроскопия