Plasma Chemical Synthesis of Amorphous Hydrocarbon Films Alloyed by Silicon, Oxygen and Nitrogen (Запись № 663042)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03774nlm1a2200469 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030041841.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\34211 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\32374 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20210121a2019 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Plasma Chemical Synthesis of Amorphous Hydrocarbon Films Alloyed by Silicon, Oxygen and Nitrogen |
| Первые сведения об ответственности | A. S. Grenaderov, K. V. Oskomov, A. A. Solovjev [et al.] |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 30 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | The paper presents the synthesis of amorphous hydrocarbon (a-C:H) films alloyed by silicon, oxygen and nitrogen. The films obtained in polyphenyl methylsiloxane vapor and argon/nitrogen environment are deposited onto crystalline silicon surface using plasma chemical deposition. It is shown that the physical and mechanical properties of the films depend on the nitrogen concentration. The film composition is studied by Xray fluorescence spectrometry and Fourier-transform infrared spectroscopy. Raman spectroscopy is used to explore the film structure. A nanoindenter is used for testing the indentation hardness and other mechanical parameters of the films. It is shown that the chemical composition and properties of a-C:H:SiOx:N film can be maintained by changing the partial nitrogen pressure during the film deposition. The increase in the nitrogen content in a-C:H:SiOx:N film leads to the growth in the root mean square roughness and the contact angle. It also leads to the reduction in the carbon content and the film hardness caused by the lower content of sp3 carbon phase. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Russian Physics Journal |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Vol. 62, iss. 7 |
| Обозначение тома | [P. 1199-1206] |
| Дата публикации | 2019 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | plasma chemical synthesis |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | alloyed amorphous doping |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | Fourier-transform infrared spectroscopy |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | Raman spectroscopy |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | плазмохимический синтез |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | легирование |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | ИК-спектроскопия |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Grenaderov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. S. |
| Расширение инициалов личного имени | Aleksandr Sergeevich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Oskomov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | K. V. |
| Расширение инициалов личного имени | Konstantin Vladimirovich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Soloviev (Solovyev) |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. A. |
| Дополнения к именам, кроме дат | specialist in the field of hydrogen energy |
| -- | Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences |
| Даты | 1977- |
| Расширение инициалов личного имени | Andrey Aleksandrovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\30863 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Ivanova |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | N. M. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | senior assistant of Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1991- |
| Расширение инициалов личного имени | Nina Mikhailovna |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34210 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Sypchenko |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. S. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Associate Scientist of Tomsk Polytechnic University, assistant |
| Даты | 1987- |
| Расширение инициалов личного имени | Vladimir Sergeevich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\33791 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |
| Идентифицирующий признак | (2017- ) |
| -- | 8118 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Инженерная школа ядерных технологий |
| -- | Отделение экспериментальной физики |
| -- | 7865 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23549 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20210121 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 40 - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | https://doi.org/10.1007/s11182-019-01835-4 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 663042 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.