Formation and structural features of nitrogen-doped titanium dioxide thin films grown by reactive magnetron sputtering

20210122a2020 k y0engy50 ba

- Title screen


электронный ресурс
труды учёных ТПУ
titanium dioxide
N-doped TiO2
nitrogen oxides
bias voltage
magnetron sputtering
оксид титана
оксид азота
магнетронное распыление