Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon
20220209a2017 k y0engy50 ba
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
plasma diagnostics
optical spectroscopy
collisional-radiative model
reactive magnetronsputtering
диагностика
плазма
оптическая спектроскопия
реактивное распыление
магнетронное распыление
аргон
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
plasma diagnostics
optical spectroscopy
collisional-radiative model
reactive magnetronsputtering
диагностика
плазма
оптическая спектроскопия
реактивное распыление
магнетронное распыление
аргон