Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon

20220209a2017 k y0engy50 ba

- Title screen


электронный ресурс
труды учёных ТПУ
plasma diagnostics
optical spectroscopy
collisional-radiative model
reactive magnetronsputtering
диагностика
плазма
оптическая спектроскопия
реактивное распыление
магнетронное распыление
аргон