Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon (Запись № 666975)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03552nlm1a2200493 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030042055.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\38179 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\20901 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20220209a2017 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon |
| Первые сведения об ответственности | K. E. Evdokimov, M. E. Konishchev, V. F. Pichugin [et al.] |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 23 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | A method for determining the electron temperature and electron density in a plasma is proposed that is based on minimization of the difference between the experimental relative intensities of the spectral argon (Ar) lines and those same intensities calculated with the aid of the collisional-radiative model. The model describes the kinetics of the ground state and 40 excited states of the Ar atom and takes into account the following processes: excitation and deactivation of the states of the atom by electron impact, radiative decay of the excited states, self-absorption of radiation, ionization of excited states by electron impact, and quenching of metastable states as a consequence of collisions with the chamber walls. Using the given method, we have investigated the plasma of a magnetron discharge on a laboratory setup for intermediate-frequency magnetron sputtering for a few selected operating regimes. |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Russian Physics Journal |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Vol. 60, iss. 5 |
| Обозначение тома | [P. 765–775] |
| Дата публикации | 2017 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | plasma diagnostics |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | optical spectroscopy |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | collisional-radiative model |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | reactive magnetronsputtering |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | диагностика |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | плазма |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | оптическая спектроскопия |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | реактивное распыление |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | магнетронное распыление |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | аргон |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Evdokimov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | K. E. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Senior Lecturer of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences |
| Даты | 1976- |
| Расширение инициалов личного имени | Kirill Evgenievich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\31791 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Konishchev |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | M. E. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | engineer of Tomsk Polytechnic University, post graduate |
| Даты | 1987- |
| Расширение инициалов личного имени | Maksim Evgenievich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34212 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Pichugin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. F. |
| Дополнения к именам, кроме дат | Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences |
| -- | Physicist |
| Даты | 1944- |
| Расширение инициалов личного имени | Vladimir Fyodorovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\30933 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Pustovalova |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. A. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Ivanova |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | N. M. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | senior assistant of Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1991- |
| Расширение инициалов личного имени | Nina Mikhailovna |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34210 |
| 701 #0 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Sun Zhilei |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Research Engineer of Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1992- |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\46147 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |
| Идентифицирующий признак | (2017- ) |
| -- | 8118 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20220209 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 40 - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | https://doi.org/10.1007/s11182-017-1137-0 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 666975 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.