Compact recycled beam source for XRL and EUVL exposure tools (Запись № 636677)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03000nlm0a2200433 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030040142.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\717 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20140228a1998 k y0rusy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | |
| 105 ## - Поле кодированных данных: текстовые ресурсы, монографические | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | a z 101zy |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drnn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Compact recycled beam source for XRL and EUVL exposure tools |
| Первые сведения об ответственности | M. A. Piestrup [et al.] |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [Ref.: p. 462-463 (23 tit.)] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Transition and parametric radiators are proposed as sources for EUVL and XRL. Collimated soft x-rays and extreme UV (EUV) radiation can be generated using electron beams with moderate electron-beam energies, unlike synchrotron radiators, which require energies of greater than 300 MeV. Earlier work focused on using transition radiation in the 0.5-3.0 keV range with electron beam energies between 17-100 MeV for output wavelength around 1.4 nm. However, tunable quasi-monochromatic emission in the EUV as well as x-ray regions can be also obtained using parametric radiators. We propose that a compact betatron be used to recycle the beam through these radiators for higher x-ray efficiency. Experiments using storage rings and simulations using known betatron parameters are presented here that demonstrate the electron beam can be recycled through the thin radiators up to 300 times. With this increase in efficiency, the source output power is expected in the range of 100 mW |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Emerging Lithographic Technologies II, February 22, 1998, Santa Clara, CA |
| Сведения, относящиеся к заглавию | Proc. SPIE 3331 |
| Обозначение тома | [P. 450-463] |
| Дата публикации | 1998 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Piestrup |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | M. A. |
| Расширение инициалов личного имени | Melvin A. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Powell |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | M. W. |
| Расширение инициалов личного имени | Michael W. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Cremer |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | J. T. |
| Расширение инициалов личного имени | J. Theodore |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Lombardo |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | L. W. |
| Расширение инициалов личного имени | Louis W. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Kaplin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. V. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | senior research fellow at Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1947- |
| Расширение инициалов личного имени | Valeriy Viktorovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\31532 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Uglov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | S. R. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | senior research fellow at Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1958- |
| Расширение инициалов личного имени | Sergey Romanovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\31533 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Zabaev |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. N. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | associate professor of Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1946- |
| Расширение инициалов личного имени | Viktor Nikolaevich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\31534 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Skopik |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | D. M. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Silzer |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | R. M. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Retzlaff |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | G. A. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Mikhalchuk |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. A. |
| Дополнения к именам, кроме дат | mathematician |
| -- | Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences |
| Даты | 1954- |
| Расширение инициалов личного имени | Aleksandr Alexandrovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\31925 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20150603 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=940891 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 636677 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.