Development of an Advanced Control System for a ChemicalVapor Deposition (CVD) Reactor for Polysilicon Production (Запись № 643305)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 02996nlm1a2200349 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030040534.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\8297 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20150907d2015 k y0rusy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Development of an Advanced Control System for a ChemicalVapor Deposition (CVD) Reactor for Polysilicon Production |
| Первые сведения об ответственности | K. A. Kozin [et al.] |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: p. 1536 (6 tit.)] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Traditionally high-grade polycrystalline silicon production is obtained by the Chemical Vapor Deposition (CVD)process in the so-called Siemens reactor. The problem of rod temperature control in such a reactor isbroached in this work. An indirect estimation method of the polysilicon rod diameter and the temperatureestimation by means of the rod electrical resistance are both proposed. The main issue to overcome is relatedto the intrinsically unsteady-state conditions of the Siemens reactor (and all the batch reactors as well). Fromthis perspective, the problem of temperature measurement can be solved using the appropriate pyrometer,although the temperature at the center of the rod has still to be estimate numerically. The aim of this paper isto develop a novel adaptive control system for the Siemens reactor based on neuro-fuzzy approach for boththe parameter tuning and the control loop itself. A comparative discussion between the proposed method andother advanced control techniques is proposed. |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Chemical Engineering Transactions |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Vol. 43 |
| Обозначение тома | [P. 1531-1536] |
| Дата публикации | 2015 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Kozin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | K. A. |
| Дополнения к именам, кроме дат | specialist in the field of automation and electronics |
| -- | Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences |
| Даты | 1980- |
| Расширение инициалов личного имени | Kirill Andreevich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\33732 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Goryunov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. G. |
| Дополнения к именам, кроме дат | Specialist in the field of automatic control |
| -- | Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences |
| Даты | 1979- |
| Расширение инициалов личного имени | Aleksey Germanovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\32980 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Manenti |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | F. |
| Дополнения к именам, кроме дат | specialist in the field of automation equipment and electronics |
| -- | researcher of Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1977- |
| Расширение инициалов личного имени | Flavio |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\37334 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Rossi |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | F. |
| Расширение инициалов личного имени | Francesco |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Stolpovsky |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. E. |
| Расширение инициалов личного имени | Aleksey Evgenjevich |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |
| Структурное подразделение | Физико-технический институт (ФТИ) |
| -- | Кафедра электроники и автоматики физических установок (№ 24) (ЭАФУ) |
| -- | 54 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\18731 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20160926 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://dx.doi.org/10.3303/CET1543256 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 643305 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.