The Deposition of Silicon-Carbon Coatings in Plasma Based Nonself-Sustained Arc Discharge with Heated Cathode (Запись № 646506)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03174nla2a2200469 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030040731.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\11642 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\11640 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20160302a2016 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 105 ## - Поле кодированных данных: текстовые ресурсы, монографические | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | y z 100zy |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | The Deposition of Silicon-Carbon Coatings in Plasma Based Nonself-Sustained Arc Discharge with Heated Cathode |
| Первые сведения об ответственности | A. S. Grenadyorov [et al.] |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 225 1# - Серия | |
| Основное заглавие серии | Discharge and Plasma-Beam Technology |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Silicon-carbon coatings on silicon substrates were deposited in plasma based nonself-sustained arc discharge with heated cathode by plasma polymerization of silicon organic agent such as polyphenyl methylsiloxane (PPhMS). Silicon-carbon coatings were deposited at PPhMS flow rate of 0.012 ml/min, argon pressure of 0-0.1 Pa, discharge current of 5-8 A, discharge voltage of 130-150 V, and filament current of 68 A. Bipolar pulsed bias voltage was supplied on the substrate during coating deposition. Surface morphology, hardness and elastic modulus of silicon-carbon films were investigated after the deposition. The film surface is very smooth with root-mean-square roughness of 0.579 nm. Maximum hardness of coatings was 11 GPa, and maximum elastic modulus was 142 GPa. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 461 #0 - Уровень набора | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\11477 |
| Заглавие | Key Engineering Materials |
| Сведения, относящиеся к заглавию | Scientific Journal |
| 463 #0 - Уровень физической единицы | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\11478 |
| Заглавие | Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015) |
| Сведения, относящиеся к заглавию | The IV International Conference, April 21-24, 2015, Tomsk, Russia |
| -- | [proceedings] |
| Первые сведения об ответственности | National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; ed. N. V. Martyushev, A. M. Bogdan |
| Обозначение тома | [P. 643-647] |
| Дата публикации | 2016 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | алмазоподобный углерод |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | кремний-углерод |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | пленки |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | покрытия |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | плазма крови |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | дуговые разряды |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | катоды |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Grenadyorov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. S. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Oskomov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | K. V. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Soloviev |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. A. |
| Дополнения к именам, кроме дат | specialist in the field of hydrogen energy |
| -- | Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences |
| Даты | 1977- |
| Расширение инициалов личного имени | Andrey Aleksandrovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\30863 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Rabotkin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | S. V. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Kovsharov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | N. F. |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |
| Структурное подразделение | Физико-технический институт (ФТИ) |
| -- | Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) |
| -- | 138 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\18726 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20160302 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.685.643 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 646506 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.