Non-Isothermal Model of Ion Implantation with Combined Ion Beam (Запись № 652764)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03188nla2a2200433 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030041153.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\18102 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\18084 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20170125a2016 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 105 ## - Поле кодированных данных: текстовые ресурсы, монографические | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | y z 100zy |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Non-Isothermal Model of Ion Implantation with Combined Ion Beam |
| Первые сведения об ответственности | E. S. Parfenova, A. G. Knyazeva |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 13 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | The paper presents a coupling non-isothermal mathematical model of the initial stage of ion implantation into a metal surface. The model takes into account the finiteness of relaxation times of heat and mass fluxes, the presence of stresses and strains arising as a result of particle impact on the substrate surface and due to phenomena of heat and concentration expansion. The model assumes that the ion beam consists of two different components with different relaxation time and diffusion coefficients. The mathematical model was solved numerically. Some investigation results were presented. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 461 #0 - Уровень набора | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\4816 |
| Заглавие | AIP Conference Proceedings |
| 463 #0 - Уровень физической единицы | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\17851 |
| Заглавие | Vol. 1783 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2016 |
| Сведения, относящиеся к заглавию | Proceedings of the International conference, 19–23 September 2016, Tomsk, Russia |
| Первые сведения об ответственности | National Research Tomsk Polytechnic University (TPU); eds. V. E. Panin ; S. G. Psakhie ; V. M. Fomin |
| Обозначение тома | [020184, 4 p.] |
| Дата публикации | 2016 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | ионная имплантация |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | ионные пучки |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | математические модели |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | металлические поверхности |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | деформации |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | подложки |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | коэффициент диффузии |
| 700 #1 - Имя лица – первичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Parfenova |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | E. S. |
| Дополнения к именам, кроме дат | Chemical Engineer |
| -- | engineer of Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1989- |
| Расширение инициалов личного имени | Elena Sergeevna |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34500 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Knyazeva |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. G. |
| Дополнения к именам, кроме дат | Russian physicist |
| -- | Professor of Tomsk Polytechnic University, doctor of physico-mathematical Sciences |
| Даты | 1962- |
| Расширение инициалов личного имени | Anna Georgievna |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\32712 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |
| Структурное подразделение | Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |
| -- | Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ") |
| -- | 6383 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\19311 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20170125 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://dx.doi.org/10.1063/1.4966478 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 652764 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.