High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon

20140902a2012 k y0rusy50 ca

- Title screen


электронный ресурс
труды учёных ТПУ
поликристаллический кремний
ионы
имплантация
светочувствительность
радиационные дефекты
вакуумный отжиг