High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
20140902a2012 k y0rusy50 ca
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
поликристаллический кремний
ионы
имплантация
светочувствительность
радиационные дефекты
вакуумный отжиг
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
поликристаллический кремний
ионы
имплантация
светочувствительность
радиационные дефекты
вакуумный отжиг