Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes
20211223a2022 k y0engy50 ba
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
Talbot lithography
wavelength-scaled diffraction grating
optical contrast
projection mask
литография
дифракционные решетки
масштабирование
оптический контраст
фотолитография
полосы Тальбота
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
Talbot lithography
wavelength-scaled diffraction grating
optical contrast
projection mask
литография
дифракционные решетки
масштабирование
оптический контраст
фотолитография
полосы Тальбота