Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes (Запись № 666418)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03150nlm1a2200481 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030042036.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\37622 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\33154 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20211223a2022 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes |
| Первые сведения об ответственности | Yu. E. Geynts, I. V. Minin, O. V. Minin |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 32 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Conventional projection Talbot lithography usually employs opaque (amplitude) or transparent (phase) masks for creating a periodic array of Fresnel diffraction fringes in the photosensitive substrate. For particular mask design the longitudinal periodicity of Talbot carpet can be avoided producing quasi uniform striped pattern (Talbot stripes). We propose a novel hybrid amplitude-phase mask which is engineered for obtaining extremely smooth Talbot stripes and simultaneously high lateral optical contrast and extreme spatial resolution better than a third of laser wavelength. By means of the numerical simulations, we demonstrate the robustness of produced striped diffraction patterns against mask design deviation and light incidence angle variations. The reproducibility of the Talbot stripes is reported also for 1D and 2D metal-dielectric projection masks. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Optics and Laser Technology |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Vol. 148 |
| Обозначение тома | [107776, 8 p.] |
| Дата публикации | 2022 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | Talbot lithography |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | wavelength-scaled diffraction grating |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | optical contrast |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | projection mask |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | литография |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | дифракционные решетки |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | масштабирование |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | оптический контраст |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | фотолитография |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | полосы Тальбота |
| 700 #1 - Имя лица – первичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Geynts |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | Yu. E. |
| Расширение инициалов личного имени | Yury Elmarovich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Minin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | I. V. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of technical sciences |
| Даты | 1960- |
| Расширение инициалов личного имени | Igor Vladilenovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\37571 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Minin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | O. V. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of technical sciences |
| Даты | 1960- |
| Расширение инициалов личного имени | Oleg Vladilenovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\44941 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Инженерная школа неразрушающего контроля и безопасности |
| -- | Отделение электронной инженерии |
| -- | 7977 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23507 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20211223 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2021.107776 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 666418 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.