Combined HF+MW CVD Approach for the Growth of Polycrystalline Diamond Films with Reduced Bow

20230310a2023 k y0engy50 ba

- Title screen


электронный ресурс
труды учёных ТПУ
diamond
thin film
chemical vapor deposition
microwave plasma
thermal conductivity
Raman spectroscopy
алмаз
тонкие пленки
химическое осаждение
микроволновая плазма
теплопроводность
рамановская спектроскопия